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甲硅烷;
; ;	; ;
	; IUPAC名; silicane;
别名;	四氢化硅; 氢化硅; 硅烷;
识别;
; CAS号;	; 7803-62-5 ;
; PubChem;	; 23953;
; ChemSpider;	; 22393;
; SMILES;	; ; ; [SiH4]; ; ;
; InChI;	; ; ; 1/H4Si/h1H4; ; ;
; InChIKey;	; BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYAE;
; Gmelin;	273;
; UN编号;	2203;
; ChEBI;	; 29389;
; RTECS;	VV1400000;
性质;
; 化学式;	; SiH4;
; 摩尔质量;	32.12 g mol−1 g·mol⁻¹;
外观;	无色气体;
; 密度;	? kg m−3（固态）; 0.7 g/ml（液态）; 1.342 g L−1（气态）;
; 熔点;	88 K (−185°C);
; 沸点;	161 K (−112°C);
; 溶解性（水）;	水解;
结构;
; 分子构型;	; 正四面体;
; 偶极矩;	0 D;
热力学;
; ΔfHmo298K;	-1615 kJ mol−1;
; So298K;	283 J mol−1 K−1;
危险性;
主要危害;	毒性较低，避免暴露。可能造成红肿和发炎。极易燃烧。;
; NFPA 704;	; ; ; 4; 2; 3; ; ;
; 闪点;	N/A;
; 自燃温度;	294 K (21°C);
相关物质;
相关氢化物;	; 甲烷、甲锗烷;
	若非注明，所有数据均出自一般条件（25 ℃，100 kPa）下。;

甲硅烷（英语：Silane），也稱甲矽烷、矽甲烷，化学式为SiH₄，是一种硅烷；有时也被简称为硅烷（勿混淆）。它的结构与甲烷类似，只是用硅取代了甲烷中的碳。在室温下，硅烷是一种易燃的气体，在空气中，无需外加火源，硅烷就可以自燃。但是有学者认为，硅烷本身是很稳定的，在自然状态下，是以聚合物的状态存在的。在超过420摄氏度的环境下，硅烷会分解成硅和氢，因此硅烷可以被用来以薄膜沉積提纯硅，是半導體工業重要的特用電子級氣體之一^[1]。

制备

工業上，多晶塊狀硅首先在摄氏200度置於流床反應器下鹽酸化：硅與通入的鹽酸氣形成三氯化硅和氫氣。反應式如下：

Si + 3 HCl → HSiCl₃ + H₂

將經過蒸餾純化的三氯化硅置於有催化劑的resinous bed反應器而產生歧化反應，形成硅烷和四氯化硅。反應式如下：

4 HSiCl₃ → SiH₄ + 3 SiCl₄

此反應的催化劑常以金屬鹵化物爲主，尤其是氯化鋁。

安全

矽烷在空氣中爆炸性極高，尤其與氮氣等氣體混在一起爆炸性更高，只要1%的矽烷和純氮就有可能引發爆炸^{[來源請求]}。另外矽烷對眼睛具有刺激性。

參見

矽烷

乙矽烷

參考資料

organofunctional silanes from Degussa AG

organofunctional silanes for building protection - water repellents - masonry protection - Graffiti Controll - sealer - easy to clean surface from Degussa AG

http://www.siridion.com chlorosilanes for telecommunication and electronic materials from Degussa

以硅烷化合物製備多晶矽原料

^ 台灣特品化學公司

[1] 台灣特品化學公司

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安全

參見

參考資料

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